波長185nmの真空紫外線照射によって、空気中の酸素（O2）は分解され、オゾン（O3）を発生します。
生成したオゾンは、波長254nmの紫外線を吸収すると、分解され活性酸素が発生します。また、有機汚染物質は185nmまたは254nmの紫外線を吸収し、さらにこの波長のもつエネルギーが有機物の分子の結合エネルギーよりも強い場合に、分解がおこります。分解反応によって生成した有機汚染物質のフリーラジカルは、活性酸素と反応し、CO2などの分子を形成し、表面から汚染物質が除去されます。
水や空気中の汚染物質は無害化されます。